真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定

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1、 真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定撰寫人：_部 門：_真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定真空鍍膜設(shè)備是電阻加熱式蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備。操作人員必須詳細(xì)閱讀該機(jī)說明書，了解設(shè)備結(jié)構(gòu)、工作原理、操作程序并由專業(yè)人員指導(dǎo)培訓(xùn)，熟練掌握各操作要領(lǐng)。經(jīng)有關(guān)專業(yè)人員確認(rèn)符合操作規(guī)范，方能獨(dú)立上崗操作。一、該機(jī)開機(jī)前應(yīng)先檢查電控柜的接線是否有松脫現(xiàn)象，接上電源，并檢查真空室內(nèi)電極絕緣性，鎢絲接觸是否可靠，工件架轉(zhuǎn)動(dòng)是否自如。聯(lián)軸器，輸入電極接觸是否良好，各密封處特別是動(dòng)密封處是否良好。還需檢查擴(kuò)散泵、旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等的油量是否滿足要求。提供的電源、氣源，各種機(jī)械泵轉(zhuǎn)向都應(yīng)正確。注意：試驗(yàn)羅茨泵轉(zhuǎn)向一定要在真空狀態(tài)下進(jìn)行。經(jīng)過

2、上述檢查，各項(xiàng)性能良好，才能進(jìn)行抽氣試機(jī)。如果鍍膜室長(zhǎng)期暴露大氣，還必須進(jìn)行“煉氣”，就是按照操作規(guī)程，不進(jìn)行鍍膜，只讓機(jī)械泵、擴(kuò)散泵等連續(xù)抽氣，察看真空度上升的穩(wěn)定情況，若真空度保持穩(wěn)定，才能進(jìn)行下一步操作。一般“煉氣”時(shí)間要達(dá)10小時(shí)以上。調(diào)試時(shí)主要檢查：1.真空檢漏 2.檢查極限壓強(qiáng) 3.抽氣時(shí)間二、滿足以上各項(xiàng)檢查后，進(jìn)入操作和使用：1.在非特殊情況下，請(qǐng)勿以斷拉閘(斷電)方式停機(jī)。2. 本設(shè)備通電及運(yùn)行過程中，請(qǐng)勿觸摸電氣控制柜內(nèi)部和外部用電器件，注意安全。3. 確認(rèn)安全無誤時(shí)才能操作設(shè)備。4. 不要將設(shè)備交給非本設(shè)備操作人員操作。5. 設(shè)備及電源控制柜必須良好接地。6. 非專業(yè)人員

3、請(qǐng)不要維修本設(shè)備。三、工作中還必須注意以下幾點(diǎn)：1.平時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要使真空室長(zhǎng)期暴露在大氣中;2.真空室鍍膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撐架;3.經(jīng)常檢查膠封是否良好，特別是動(dòng)密封圈，定期給動(dòng)密封圈加上真空脂;4.定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的電器元件;5.在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門;6.羅茨泵、粗抽泵、維持泵要定期加油，換油(保持油面在油鏡中心為佳);7.充氣閥門充氣動(dòng)作失靈時(shí)，必須進(jìn)行檢修;8.鍍膜完畢時(shí)先關(guān)閉真空測(cè)量計(jì)，再關(guān)閉精抽、前置閥，待精抽閥、前置閥完全關(guān)閉后才能充入大氣，否則會(huì)燒壞電離規(guī)管，氧化擴(kuò)散泵油及發(fā)生不必要的以外;9.鍍膜機(jī)在工作過程中，不得斷水，若在工作過程中突然停電，應(yīng)馬上關(guān)閉精抽閥門，減少因系統(tǒng)漏氣泵油的氧化;10.關(guān)羅茨泵后一定要經(jīng)過1分鐘后才能關(guān)粗抽泵，否則會(huì)因?yàn)榱_茨泵在轉(zhuǎn)速較高時(shí)充入氣體，會(huì)損壞羅茨泵。第 4 頁(yè) 共 4 頁(yè)