光柵式傳感器課件.ppt

上傳人:小** 文檔編號:24151992 上傳時間:2021-06-24 格式:PPT 頁數(shù):14 大?。?06KB
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1、.1 光柵傳感器的結(jié)構(gòu).2 莫爾條紋形成的原理.3 莫爾條紋技術(shù)的特點.4 光柵的光路.5 辨向原理.6 細(xì)分技術(shù) 上一頁下一頁返 回 l光柵傳感器由光源、透鏡、光柵副(主光柵和指示光柵)和光電接收元件組成。 上一頁下一頁返 回 l鎢絲燈泡:輸出功率較大,工作范圍較寬(-40到+130)與光電元件相組合的轉(zhuǎn)換效率低。在機械振動和沖擊條件下工作時,使用壽命將降低。l半導(dǎo)體發(fā)光器件:轉(zhuǎn)換效率高,響應(yīng)特征快速。 如砷化鎵發(fā)光二極管,與硅光敏三極管相結(jié)合,轉(zhuǎn)換效率最高可達30%左右。砷化鎵發(fā)光二極管的脈沖響應(yīng)速度約為幾十ns,可以使光源工作在觸發(fā)狀態(tài),從而減小功耗和熱耗散。 上一頁下一頁返 回 a+b

2、=W稱為光柵的柵距(或光柵常數(shù))通常情況下,a=b=W/2 上一頁下一頁返 回 l包括有光電池和光敏三極管等部分。l在采用固態(tài)光源時,需要選用敏感波長與光源相接近的光敏元件,以獲得高的轉(zhuǎn)換效率。在光敏元件的輸出端,常接有放大器,通過放大器得到足夠的信號輸出以防干擾的影響。 上一頁下一頁返 回 2tantan 橫向莫爾條紋的斜率莫爾條紋間距 WWBCABBH 2sin22sin莫爾條紋的寬度BH由光柵常數(shù)與光柵夾角決定 上一頁下一頁返 回 (1)調(diào)整夾角即可得到很大的莫爾條紋的寬度,起到了放大作用,又提高了測量精度。(2)莫爾條紋的光強度變化近似正弦變化,便于將電信 號作進一步細(xì)分,即采用“倍頻

3、技術(shù)”。這樣可以提 高測量精度或可以采用較粗的光柵。(3)光電元件對于光柵刻線的誤差起到了平均作用。刻 線的局部誤差和周期誤差對于精度沒有直接的影響。 因此可得到比光柵本身的刻線精度高的測量精度。 這是用光柵測量和普通標(biāo)尺測量的主要差別。 上一頁下一頁返 回 l 1)莫爾條紋是由光柵的大量刻線共同形成的,對光柵的刻劃誤差有平均作用,從而能在很大程度上消除光柵刻線不均勻引起的誤差。 l 2)當(dāng)指示光柵沿與柵線垂直的方向作相對移動時,莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動(兩者的運動方向相互垂直);指示光柵反向移動,莫爾條紋亦反向移動。在圖中,當(dāng)指示光柵向右移動時,莫爾條紋向上運動。 l 3)莫爾條紋的間距

4、是放大了的光柵柵距,它隨著指示光柵與主光柵刻線夾角而改變。越小,越大,相當(dāng)于把微小的柵距擴大了 倍。由此可見,計量光柵起到光學(xué)放大器的作用。 1 例如,對線mm的長光柵而言,0.04mm,若=0.016rad,則=2.5mm.,光敏元件可以分辨2.5mm的間隔,但無法分辨0.04mm的間隔。 l 4)莫爾條紋移過的條紋數(shù)與光柵移過的刻線數(shù)相等。例如,采用100線/mm光柵時,若光柵移動了xmm(也就是移過了100 x條光柵刻線),則從光電元件面前掠過的莫爾條紋也是100條。由于莫爾條紋比柵距寬得多,所以能夠被光敏元件所識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計數(shù),就可知道移動的實際距離了。 l“零刻度” 當(dāng)標(biāo)尺光柵相對于指示光柵轉(zhuǎn)動時,條紋即沿徑向移動,測出條紋移動數(shù)目,即可得到標(biāo)尺光柵相對指示光柵轉(zhuǎn)動的角度。 上一頁下一頁返 回 l透射光路l反射光路 上一頁下一頁返 回 1-光源2-準(zhǔn)直透鏡3-主光柵4-指示光柵5-光電元件 此光路適合于粗柵距的黑白透射光柵。 特點:結(jié)構(gòu)簡單,位置緊湊,調(diào)整使用方便,應(yīng)用廣泛。 上一頁下一頁返 回 1反射主光柵2-指示光柵3-場鏡4-反射鏡5-聚光鏡6-光源7-物鏡8-光電電池。該光路適用于黑白反射光柵。 上一頁下一頁返 回

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