客車懸架鋼板彈簧斷裂失效分析

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1、J I A N G S U U N I V E R S I T Y讀書報告客車懸架鋼板彈簧斷裂失效分析Failure Analysis of Bus leaf spring suspension學院名稱: 材料科學與工程學院 專業(yè)班級: 金屬材料工程0701 學生姓名: 劉杰 指導教師姓名: 陳康敏 指導教師職稱: 副教授 2011 年 6 月 17目 錄第一章 彈簧及彈簧的種類11.1彈簧11.2 彈簧的種類1第二章 板彈簧2第三章 彈簧鋼33.1國內外彈簧鋼發(fā)展概況33.2 彈簧鋼的性能特點43.3 彈簧鋼的發(fā)展趨勢5第四章 彈簧鋼中各合金元素的作用5第五章 彈簧鋼的熱處理工藝75.1 懸

2、架彈簧的熱處理工藝75.2 主要彈簧鋼的熱處理工藝8第六章 彈簧的服役條件和失效方式96.1 彈簧的服役條件和應力狀態(tài)96.2 彈簧的失效方式10第七章 失效分析107.1 失效分析概述107.2 斷口分析107.3 彈簧鋼失效分析所得出的結論11第八章 掃描電子顯微鏡138.1 基本原理138.2 掃描電鏡的結構14參考文獻16第一章 彈簧及彈簧的種類1.1彈簧彈簧的機械特性是:一旦施加外力,它就發(fā)生彈性變形,吸收并積蓄能量;如果外力取消,它會把吸收的能量釋放出來并恢復原形。為此,彈簧可用來吸收振動和緩和沖擊;利用其恢復力產生動力或恢復原位;用來連接物件等等。車輛與軌道、接觸網或其他車輛動態(tài)

3、接觸時,車輛各部件的相互接觸點或面上多會受到力。為了緩沖這些接觸部位的力,以維持圓滑的接觸,并把部件的強度保持在適當?shù)乃揭詫崿F(xiàn)小型輕量化,在車輛各部分使用了許多各種形式的彈簧。1.2 彈簧的種類(1) 螺旋彈簧將鋼棒或鋼絲卷成螺旋形就是螺旋彈簧,這在車輛上用的最多。用軸彈簧和枕彈簧的情況下,大多數(shù)還同時使用吸收振動的減振器。(2) 板彈簧板彈簧是利用可彎曲的鋼板制成的彈簧,也有用多層重疊制成的多層板彈簧。新干線電動車組的軸箱使用多層板彈簧,這種彈簧彎曲時多層板之間產生的滑動摩擦可吸收振動,但這種摩擦不穩(wěn)定,而且板彈簧較重,最近幾乎不用了。(3) 扭曲彈簧扭曲彈簧是利用軸的扭曲制成的彈簧,多數(shù)

4、稱為扭力棒。用于轉向架抗側滾,其結構極簡單。牽引電動機的扭軸也兼作彈性聯(lián)軸器。(4) 盤彈簧盤彈簧是具有圓錐斜面的環(huán)狀彈簧,由內環(huán)和外環(huán)組成,尺寸較大的可吸收較大能量,用作連接器的緩沖器。(5) 渦卷彈簧渦卷彈簧是用薄的細長鋼片卷制成的彈簧,一般稱為鐘表彈簧。直流牽引電動機刷握上通常使用這種彈簧。(6) 碟形彈簧碟形彈簧的形狀如碟子底部,其受力方向較薄的彈性系數(shù)較大。用于緩和軸向沖擊。(7) 減振橡膠是利用橡膠彈性制成的彈簧,它能對付三個方向(即X 、Y 、Z 軸方向)的振動,也具有衰減元件。它較容易安裝且使用方便。但耐候性比金屬彈簧差,使用溫度范圍也較窄。除用于機械中防振之外,也在軸彈簧或聯(lián)

5、軸器的緩沖彈簧中應用。(8) 空氣彈簧空氣彈簧是利用空氣的壓縮性制作的彈簧,使用中其彈性系數(shù)可以控制。有膜片型和波紋管型兩種。在車輛的枕彈簧中廣泛使用,不僅吸收上下振動,還可用來調整車輛地板面的高度。又因其彈性系數(shù)正比于荷重變化,故車體的振動頻率變化不大。通過將輔助空氣室的空間適當縮小便可使振動得以衰減,所以不必再使用減振器。另外,空氣彈簧不僅上下動作,而且橫向也起作用,因此可以適當?shù)卦O定轉向架的轉動剛性。另外它還用于車體傾斜裝置1。第二章 板彈簧板彈簧(blade spring):由不少于1片的彈簧鋼疊加組合而成的板狀彈簧。 板彈簧按外形分類: (1)橢圓形板彈簧(2)半橢圓形板彈簧 (3)

6、四分之一橢圓形板彈簧 (4)片彈簧。 橢圓形板彈簧、半橢圓形板彈簧及四分之一橢圓形板彈簧均為組合型式的板彈簧,依靠板與板之間的摩擦力而具有較高的緩沖和減振性能,廣泛應用于汽車、拖拉機和鐵道車輛的懸架系統(tǒng); 片彈簧為單片彈簧鋼,多用于機械設備和儀器儀表中壓緊工作部件,見圖1.。 圖 1 各種板彈簧第三章 彈簧鋼3.1國內外彈簧鋼發(fā)展概況中國的彈簧鋼在20 世紀50 年代曾參照前蘇聯(lián)的彈簧鋼牌號,主體為Si2M n 系列的彈簧鋼,由于Si2Mn 系彈簧鋼存在淬透性低的缺點,隨著國民經濟的快速發(fā)展,已不能滿足中國工業(yè)發(fā)展的需要,后經1977 年、1984 年兩次修訂,刪除了一些無用的牌號,增加了高淬

7、透性Cr2M n 系彈簧鋼。目前生產使用并列入GBT 12222007 中的彈簧鋼有15 個鋼種,其化學成分見表1。美國彈簧鋼無論是種類還是數(shù)量都比較多,但經常使用的鋼種是9260、9254、5160 和改進型5160等, 尤以5160 (H) 和9260 應用最廣、產量最大美國彈簧鋼無論是種類還是數(shù)量都比較多, 但經常使用的鋼種是9260、9254、5160 和改進型5160等,尤以5160 (H) 和9260 應用最廣、產量最大。日本彈簧鋼標準J ISG4801中收入9個鋼種。1984年修訂J IS G4801時, 由于彈簧鋼SUP4沒有實用價值而被刪掉, SUP3也只是作為鐵道車輛板彈簧

8、的補充使用。德國彈簧鋼標準D IN 17221 中共有6 個鋼種,其化學成分見表2。其中38Si7 是Si2M n 鋼54SiCr6、56SiCr7 是Si2M n2Cr 鋼, 55Cr3 是Cr2M n 鋼, 50CrV 4 是Cr2V 鋼,51CrMoV 4 是在50CrV 4 的基礎上添加了一定含量的Mo元素,大大提高了鋼的淬透性及回火穩(wěn)定性,適用于制造在高溫環(huán)境下工作的超大型彈簧2-3。表2 德國彈簧鋼標準DN17221鋼種化學成分/%鋼號CSiMnCrMoV38Si70.35-0.421.50-1.800.50-0.80-54SiCr40.51-0.591.20-1.600.50-0

9、.800.50-0.80-60SiCr70.57-0.651.50-1.800.70-1.000.20-0.40-55Cr30.52-0.590.25-0.500.70-1.100.70-1.00-50CrV40.47-0.550.15-0.400.70-1.100.90-1.20-0.10-0.2051CrMoV40.48-0.560.15-0.400.70-1.100.90-1.200.15-0.250.08-0.153.2 彈簧鋼的性能特點 彈性門坎和彈性極限。微量塑性變形抗力一一彈簧合金的一個主要性能用條件彈性極限來表征是最可靠的,其相應出現(xiàn)的殘余變形量約為10-3或最好為10-4。彈

10、性極限和比例極限(有時也用于評定彈性合金的質量)的主要區(qū)別,不在于所規(guī)定的殘余變形的大小,而在于它在試驗時方法相同具有較向的測量精度,因為它僅僅測定卸裁后的殘余變形。此外,彈性極限也可以直接地表示出產生一定殘余變形的相應應力值。 宏觀彈性極限對應于出微量塑性變形的第一階段向第二階段的過渡,第一階段的特點是硬化系數(shù)很高而第二階段的硬化系數(shù)急劇地降低,并且殘余變形的累積速度增大。微量塑性變形發(fā)展的這兩個階段的物理本質是各不相同的。在第一階段,位錯、磁疇壁等其移動不很大,相反地,該階段發(fā)展的程度主要決定于表面和體積不均勻性的存在,因此,這與合金的成分和處理無關,不過這尚未定論。在第二階段,與第一階段

11、不同,發(fā)生了不可逆的組織變化(包括恢錯結構的變化)。由此可見,宏觀彈性極限具有確定的物理念義。彈性極限技術上的意義在于共大小可表征一個極限應力,這一極限應力是彈性元件加載過程中不得超過的。3.3 彈簧鋼的發(fā)展趨勢(1)彈簧鋼向高強度方向發(fā)展提高彈簧設計應力、減輕彈簧重量是彈簧的發(fā)展方向。影響彈簧鋼設計應力的兩個主要因素是有彈簧鋼的合金元素含量并添加微合金化元素;另一方面借鑒航空用超高強度鋼的經驗,降低含碳量并添加V和Nb等。(2)彈簧鋼向高彈減抗力方向發(fā)展由于決定彈簧許用應力的主要因素是彈減抗力,因此提高彈減抗力一直是高強度彈簧鋼研究開發(fā)的重點。(3)彈簧鋼向高純凈度方向發(fā)展國內外鋼廠和汽車廠

12、對彈簧鋼氧含量提出了很高的要求,如瑞典SKF 標準要求彈簧鋼氧含量低于15 mg/L ,夾雜物最大尺寸小于15 um。彈簧鋼生產企業(yè)應從冶煉工藝及連鑄工藝兩方面入手,通過采取加強原料管理、合理配料、精料入爐,強化冶煉操作、優(yōu)化冶煉工藝,改進脫氧、造渣制度、強化爐解精煉等措施,生產高純凈度彈簧鋼4-5。第四章 彈簧鋼中各合金元素的作用合金化元素在鋼中應用的基本原理在于其在鋼中的固溶、偏聚和沉淀作用,尤其是微合金元素與碳、氮交互作用,產生了諸如晶粒細化、析出強化、再結晶控制、夾雜物改性等一系列的次生作用,這些因素綜合的對鋼產生了強韌化效果,同時提高材料的工藝性能。60CrMnBA涉及的化學元素主要

13、有C 、S i 、M n 、C r 、B 等,其作用分述如下:(1)碳 設計C含量的應主要考慮固溶強化及回火二次沉淀硬化所需。C是主要的強化元素,C溶解在鋼中形成間隙固溶體,起固溶強化作用,它與強碳化物形成元素形成碳化物析出時,起沉淀強化作用。碳對彈簧的強度、硬度、塑性、韌性、脫碳傾向、顯微組織都有很大的影響。彈簧鋼要求較高的強度和疲勞,一般在淬火中溫回火的狀態(tài)下使用,使獲得較高的彈性極限。為保證強度,彈簧鋼中必須含有足夠的C,但隨C含量的上升,塑形、韌性會下降。為了提高彈簧鋼的韌性和塑性,碳含量有降低的趨勢。C含量高雖然對強度、硬度、彈性等有利,但塑性、綜合性能不夠理想、韌性較低,易脫碳,對

14、彈減抗性不利,影響彈簧的疲勞壽命。(2)硅 Si不是碳化物形成元素,基本上以固溶態(tài)存在,具有固溶強化效果高于Mn,在常用合金元素中名列前茅。Si本身不僅有固溶強化作用,而且能改變鋼回火時析出碳化物的數(shù)量、尺寸和形態(tài)等,提高鋼的回火穩(wěn)定性,因此,對提高材料強度、硬度有好處。當合金元素和C含量在一定的范圍內時,Si對彈性減退抗力的貢獻居各種合金元素之首。Si增強抗彈性減退的能力隨著含量增加而增強,在含量1.5%時效果最佳。但是,Si也可能在一定程度上對塑性、韌性產生不良影響。Si含量較高時還助長鋼加熱時的脫碳、石墨化和晶粒粗化傾向。一般彈簧鋼中硅含量不大于0.3%。 (3)錳 Mn是弱碳化物形成元

15、素,在鋼中主要以固溶的形式存在于基體中。一部分固溶于鐵素體(或奧氏體),另一部分形成含Mn的合金滲碳體(Fe、Mn)3 C。以固溶形式存在的。Mn具有較強的固溶強化效果,Mn對鐵素體的固溶強化作用僅次于P和Si。同時Mn是奧氏體穩(wěn)定化元素,能擴大奧氏體相區(qū),鋼中加入Mn還能顯著提高鋼的淬透性,改善熱處理性能,強化基體、降低珠光體的形成溫度,細化珠光體的片間距離,從而提高鋼的強度和硬度,其對淬透性的增強作用高于Cr 、Mo、Ni。同時Mn 礦為我國富產,價廉易取。但Mn增大了彈簧鋼的過熱敏感性,晶粒易粗大,還易增大回火脆性,因此,Mn含量不宜過高。(4)鉻 Cr是中強碳化物形成元素,加熱時溶入奧

16、氏體的Cr能強烈地提高淬透性。鋼中的Cr一部分形成碳化物,另一部分溶入基體產生固溶強化,提高鋼的強度和硬度。Cr不僅能使C曲線明顯地右移,而且使珠光體和貝氏體轉變的C曲線明顯分開。在52CrMnB中,Cr與Mn適當配合,顯著提高了鋼的淬透性,并且較多的Cr將促進位錯馬氏體的形成。但是Cr在鋼中起到強化作用的同時亦使塑性有所降低,并增加回火脆性。52CrMnB用于35mm以下的厚大截面鋼板彈簧,需要良好的淬透性,因此52CrMnB在避免回火脆性的同時增加Cr含量。(5)硼 B能使鋼的淬透性顯著提高,B原子偏聚于奧氏體淬火冷卻過程中晶界上,降低晶界能,抑制鐵素體的形核,推遲鐵素體的形成,同時晶界上

17、的B原子也阻滯晶界原子的擴散,使鐵素體在晶界上擴散形核減緩,從而增加淬透性。常用化學元素中,B對淬透性貢獻最大,0.001%0.003%B的作用分別相當于0.6%Mn、0.7%Cr、0.15%Mo、1.5%Ni,應用B可節(jié)省大量合金元素。淬透性隨硼含量的增加而增加,但B含量超過0.001%后淬透性不再增加。而且鋼中的C含量越少,B的淬透性效應越發(fā)突出。B還能提高鋼的抗彈減性,當B元素以間隙原子形式固溶于奧氏體、鐵素體時,特別容易聚集在位錯線附近,抑制變形過程。但是,B在化學元素周期表中位于第二周期,是第A族的第一個元素。它和N、O都有很強的親和力,并能與S、C化合。加熱能提高B的化學活性。B同

18、鋼中的N、O結合形成氧化物和氮化物后,就失去提高鋼的淬透性功能。同時B在冶煉過程中極易揮發(fā),因此B鋼的冶煉過程中對脫O、脫N要求較高,B回收利用難度較大6。第五章 彈簧鋼的熱處理工藝5.1 懸架彈簧的熱處理工藝 用油淬火鋼絲或鋼棒卷制的懸架彈簧只需進行去應力退火。例如55SiCr油淬火銅絲卷制的懸架彈簧的遢火工藝為3801h。如用退火或熱軋態(tài)盤條卷制的懸架彈簧必須進行淬火和回火后才能達到所需要的力學性能。具體工藝: 1常規(guī)熱處理工藝 批量生產時,采用輸送帶或步進式連續(xù)加熱爐,保護氣氛加熱到860880時油淬,再在熱風循環(huán)的周期性作業(yè)爐或連續(xù)式回火爐中保持足夠的時間,使其硬度達到4652HRC。

19、 2高溫形變熱處理將錒棒進行感應加熱或電接觸加熱到950l000立即用靠模軋制成那樣的形狀及尺寸、再熱卷成簧后淬火(余熱淬火)和回火。這是一種強化的熱處理生產工藝,生產率高,又可獲得超細晶粒和形變熱處理強韌化救果。對于Si-Cr系(SAE9254)鋼,其抗拉強度可達17702060MPa,45%,7%,彈簧表面無脫碳現(xiàn)象。用這種方法制造的懸架彈簧具有很高的疲勞強度和抗應力松弛性能79。如生產條件不具備時,可將軋錯、繞簧和淬火工序分開進行。此時淬火方法可按常規(guī)工藝或等溫淬火工藝進行。5.2 主要彈簧鋼的熱處理工藝表3就是主要彈簧鋼的熱處理工藝和各剛號的主要用途10-11。表3是主要彈簧鋼的熱處理

20、工藝和主要用途鋼號熱處理力學性能交貨狀態(tài)Hb不大于主要用途淬火溫度/淬火介質回火溫度/屈服強度/Mpa抗拉強度/Mpa65Mn830油5408001000熱軋302截面直徑小于15mm的中小型,低應力彈簧,如座墊板簧,彈簧發(fā)條等.50CrMn55CrMnA60CrMnA840油49011001300熱軋321載荷較高,應力較大板簧,也用于直徑較大的(50mm)的螺旋彈簧.60Si2MnA870油44014001600熱軋321汽車,拖拉機,鐵道車輛上的板簧,螺旋彈簧,汽缸安全閥及止回閥簧。60SiMnWA850油42017001900熱處理302極重要的和重載下工作的螺旋彈簧和板簧55SiMn

21、B60CrMnBA870油48012001300熱軋321汽車前后簧,后簧60CrMnMoA55SiMnMoV880油55013001400熱軋321重型汽車板簧,越野汽車板簧.第六章 彈簧的服役條件和失效方式6.1 彈簧的服役條件和應力狀態(tài) 彈簧的服役條件是指它工作的環(huán)境(溫度和介質)及應力狀態(tài)等因素。工作溫度可分為低溫(室溫以下)、室溫、較高溫度(120350)、高溫(400以上)幾個檔次。工作環(huán)境介質有空氣(干燥氣和潮濕氣)、水蒸氣、雨水、燃燒產物、油及酸堿水溶液等。普通機械彈簧一般是在室溫或較高工作溫度、大氣條件下承受負荷。也有用于耐蝕、承受高應力等各種特殊用途的彈簧。應當指出工作持續(xù)

22、時間也是一個值得考慮的重要因素。彈簧的載荷特性由彈簧變形時載荷(P或T)與變形(F或)之間的關系曲線表示。常見者有三類:直線型、漸增型、不重合型12-13。彈簧載荷有動載荷(振動、扭轉、彎曲等)和靜載荷,有些重要彈簧承受復雜的交變載荷。應力狀態(tài)時設計彈簧、選材及熱處理的一個極其重要的參數(shù)。在外力作用下,彈簧材料內部往往產生不同的應力:如彎曲應力、扭轉應力(切應力)或彎扭復合應力等13-15。彈簧的應力狀態(tài)舉例如表。表4 彈簧鋼的應力狀態(tài)應力狀態(tài)彈簧類型彎曲應力(b)為主各種板簧、片簧、碟簧、平面蝸卷彈簧、扭轉螺旋彈簧、波形彈簧、弓形彈簧等扭轉(剪切)應力(b)壓縮和拉伸螺旋彈簧、扭桿彈簧、蝸卷

23、螺旋彈簧復合應力承受壓縮和拉伸復合應力,如環(huán)形彈簧、承受彎曲橫向載荷的彈簧交變應力對稱(-1、-1)非對稱(max min)脈動(0max)各種氣門彈簧、氣閥彈簧6.2 彈簧的失效方式 由于彈簧服役條件的復雜性和苛刻性,其失效方式有多種多樣,主要有斷裂失效和應力松弛(變形)失效兩大類。在斷裂失效中又可分為脆性斷裂和塑性斷裂,其中突發(fā)性的脆性斷裂的危害性最大。在斷裂失效中又可分為脆性斷裂、疲勞斷裂、應力腐蝕斷裂及疲勞斷裂。此外,還有氫脆、鎘脆及黑脆等。其中疲勞斷裂約占彈簧斷裂失效的80%92%。在生產實踐中可依據彈簧斷口特征來判斷其斷裂方式,可根據彈簧的受力條件找出其斷裂源,分析其裂紋的擴展速率

24、。應力松弛(變形)失效時彈簧工作過程中普遍存在的現(xiàn)象,但一般不被重視,而它對那些執(zhí)行控制性元件中則是影響產品效率、靈敏度及可靠性的關鍵性零件。彈簧的早期失效對鋼材的浪費想但嚴重、造成直接和間接的經濟損失巨大16-17。第七章 失效分析7.1 失效分析概述失效分析是人們認識事物本質和發(fā)展規(guī)律的逆向思維和探索,是變失效為安全的基本環(huán)節(jié)和關鍵,是人們深化對客觀事物的認識源頭和途徑。因此在思路上要求遵守并正確運用以下五個基本原則:(1)整體觀念原則(2)從現(xiàn)象到本質的原則(3)動態(tài)原則(4)分為二原則(5)縱橫交匯原則;思路上的五種具體方法為:(1)系統(tǒng)方法(2抓主要矛盾方法(3比較方法(4)歷史方法

25、(5)邏輯方法18 。7.2 斷口分析 工程構件的斷裂分析大論在理論上還是在應用上都是十分有用的。斷裂分析包括宏觀分析和微觀分析,通過斷口分析可以揭示斷裂機理,判斷裂紋性質及原因,裂紋源及走向;還可以觀察到斷口里的外來物質或夾雜物,出于掃描電鏡的特點,使得它在現(xiàn)有的各種斷裂分析方法中占有突出的地位. 材料斷口的微觀形貌住往與材料化學成分、顯微組織、制造工藝及服役條件存在密切聯(lián)系,所以斷口形貌的確定對分忻斷裂原因常常具有決定性作用。 金屬材料斷口按斷裂性質可分為脆性斷口、韌性斷口、疲勞斷口從環(huán)境因素斷口;按斷裂途徑可分為穿晶斷口、沿晶斷口從混合斷口。表5列出了它們的主要特點及相應的斷口形貌現(xiàn)分別

26、簡要介紹如下19。表5 斷口的主要特點及相應的斷口形貌分類方法斷口類型特點斷口微觀形貌按斷裂性質分類脆性斷口斷裂前材料不產生明顯的宏觀塑性變形,斷口宏觀形貌為結晶狀或放射狀解理斷口、準解理斷口或冰糖狀沿晶斷口韌性斷口斷裂前材料有明顯的塑性變形,斷口宏觀形貌為纖維狀韌窩斷口疲勞斷口有周期性重復載荷引起的斷裂穿晶,有疲勞條紋或沿晶斷口環(huán)境因素斷口由于應力腐蝕、氫脆、液態(tài)金屬脆化、腐蝕疲勞或高溫蠕變引起的斷裂沿晶斷口穿晶斷口按斷裂用途分類穿晶斷口脆性穿晶斷口(回火脆性及氫脆等斷口)韌性穿晶斷口(過熱組織斷口)解理或準解理斷口,韌斷穿晶斷口沿晶斷口脆性穿晶斷口韌性穿晶斷口冰糖狀沿晶斷口斷口晶界表面有密

27、布的小韌窩混合斷口穿晶沿晶兩種斷口混雜存在7.3 彈簧鋼失效分析所得出的結論由蔡璐, 王磊所完成的高強度變截面板彈簧失效分析及對策所得出的結論有:(1) 淬火溫度及回火工藝不合理是造成試制彈簧早期失效的主要原因, 生產最佳工藝為915 925加熱淬火, 470 480 回火2 h。(2)淬火加熱裝爐方式不合理是造成試制彈簧早期失效的原因之一, 板簧弧形凹面(待噴丸面) 朝下,可以避開油噴嘴的烈焰, 避免過熱。(3)噴丸工藝不合理也是造成試制彈簧早期失效的原因之一, 自由噴丸后再進行應力強化噴丸, 能夠有效的提高疲勞壽命。(4)改進后的工藝明顯提高了彈簧壽命, 達到了技術要求20。第八章 掃描電

28、子顯微鏡8.1 基本原理圖2 掃描電鏡原理示意圖圖2是掃描電鏡的原理示意圖c由最上邊電子槍發(fā)射出來的電子柬,經柵極聚焦后,在加速電壓作用下,經過:至二個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng),電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線閣。公它的作用下佼電子束在樣品表面掃描。出于高能電子束與樣品物質的交互作用結果產生了各種信息:二次電子、背反射電子、吸收電子、x射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等.這些信號被相應的接收器接收經放大后送到顯像管的柵極上。調制顯保管的亮度. 由于經過掃描線圈的電流是與顯像管相應的亮度一一對應,也就是說電子束打到樣品上一點時,在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮

29、點。掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法,把樣品表面不同的特征,按順序,成比例地轉換為視頻傳號,完成-幀圖像。從而使我們在熒光屏上觀察別樣品表面的各種特征圖像. 8.2 掃描電鏡的結構掃描電鏡包括以下幾部分:1電子光學系統(tǒng) 該系統(tǒng)由電于槍、電磁透鏡、光闌、樣品室等部件組成。它的作用與透射電鏡不同,僅僅用來獲得掃描電子束。顯然,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑.目前使用中的掃描電鏡大多為普通熱陰極電子槍,由于受到鎢絲陰極發(fā)射率較低的限制,需要較大的發(fā)射截面,才能獲得足夠的電子束強度。采用鎢絲陰極發(fā)射的電子光源掃描電子束直徑一般可達2050um,六硼化銅陰極發(fā)射率比較高,有效發(fā)射截面可

30、以做到直徑為20um左右,比鎢絲陰極要小得多,因此無論是亮度還是電子源直徑都比鎢絲陰極多.以上兩種電子槍都屬于熱發(fā)射電子槍,而場發(fā)射電子槍分為冷場和熱場發(fā)射兩種,一般在掃描電鏡中采用冷場發(fā)射。它是利用靠近曲率半徑很小的陰極尖端附近的強電場使陰極尖端發(fā)射電子的,所以叫做場致發(fā)射(簡林場發(fā)射).如果陰極尖端半徑為100500nm,片在尖端與第陽極之間加35kV的電位差,那么在陰極尖端附近建立的強電場就足以使它發(fā)射電子,在第二陽極幾十千伏甚至幾百千伏正電位作用下,陰極尖端發(fā)射的電子會聚在第二陽極孔的下方(即場發(fā)射電子槍第一交叉點位置上)電子束直徑小于20nm(甚至l0nm).可見場發(fā)射電子槍是掃描電

31、鏡獲得高分辨率,高質量圖像較為理想的電了源.此外、場發(fā)射掃描電鏡在低電壓下仍保持高的分辨率和電子槍壽命長等優(yōu)點。在光學系統(tǒng)中,掃描電鏡的最后一個透鏡的結構有別于透射電鏡,它是采用上下極靴不同孔徑不對稱的磁透鏡,這樣可以大大減小下極靴的圓孔直徑,從而減少樣品表面的磁場避免磁場對二次電子軌跡的干擾,不影響對二次電子的收集。另外、末級透鏡中要有一定的空間用來容納掃描線圈和消像散器:掃描線圈是掃描電鏡的個十分重要的部件它使電子作光柵掃描,與顯示系統(tǒng)的CRT掃描線圈由同一鋸齒波發(fā)生器控制,以保證鏡筒中的電子束與顯示系CRT中的電子束偏轉嚴格同步。 掃描電鏡的樣品室要比透射電鏡復雜,它能容納大的試樣,并在

32、1維空間進行移動。傾斜和旋轉。目前的掃描電鏡樣品空在空間設計都考慮了多種信號收集器安裝的幾何尺寸,以使用戶根據自己的意愿選擇不同的信息方式.2信號收集和顯示系統(tǒng) 二次電子和背反射電子收集器是由閃爍體,光電倍增管和前置放大器組成,這是掃描電鏡中最主要的信號檢測器.從試樣出來的電子撞擊并進入閃爍體,當金屬圓筒加+250電壓時,能接受低能二次電子:當加250V電壓時,能接受高能反射電子.在閃爍體表層涂一層4080nm的鋁膜作為導電層、在這導電層上加釘1012KV的高壓,試樣產生的二次電子(或被反射電子)被這高壓加速,并被收集到閃爍體上,當電子打到閃爍體,產生出光子,而光子 通過光導體管傳送到光電倍增

33、管的陰極上:通過光電倍增管,信號被放大為微安數(shù)量級,再送至前置放大器放大成足夠功率的輸山信號,送至視頻放大器,而后可直接調制cRT的柵極電位這樣即可得到一幅供觀察和照相的圖像。(2)顯示系統(tǒng) 顯示裝置搬有兩個顯示通道:一個用來觀察,另一個供記錄用(照相)。觀察用的顯像管采用常余輝顯像管,躺拙幀有0.2,0.5,1s。最快可以達到電視速度。對子記錄用的管子要求有較高的分辨率,通常10cm xl0cm的熒光屏要求有800-1000條線并且只能用短余輝的管子、在觀察時為了便于調焦,采用盡可能快的掃描速度,而拍照時為了得到分辨率高的圖像。要盡可能采用慢的掃描速度(多用50100s)。 (3)吸收電子檢

34、測器 試樣不直接接地,而與一個試樣電流放大器相接,可檢出被測試樣吸收的電子。它是一個高靈敏度的微電流放大器,能桃測到10的負六次到10-10A這樣小的電流。吸收電流信號一般在10-7到10-9A,在較好的信噪此下,可得到所需要吸收電流圖像。吸收電子圖像是掃描電鏡分析中一個很重要的手段。 (4)X射線檢測器 它是檢測試樣發(fā)出的元素特征X連續(xù)波長和光子能量成分分析。此外掃描電鏡也像透射電鏡一樣,需配備真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)。參考文獻1 江慧 譯自JRAE 20022 阿久津忠良. 高強度懸架用鋼開發(fā)J. 電氣制鋼, 1992, 63 (1) : 7075.3 N am W J , Cho i H C.

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