硅片過程檢驗培訓

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1、硅片過程檢驗培訓 目 錄 ： 1.引 言 2.電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 3.過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 硅 片 檢 驗 主 要 分 為 三 類 ： 1.硅 片 來 料 檢 驗 2.電 池 片 生 產(chǎn) 過 程 檢 驗 3.電 池 片 出 貨 檢 驗 引 言 硅 片 來 料 檢 驗 設 備 ： 引 言 硅 片 來 料 檢 驗 設 備 ： 引 言 硅 片 來 料 檢 驗 目 的 ： 保 證 進 貨 的 原 材 料 滿 足 規(guī) 定 的 要 求 ， 防 止 不 合 格品 流 入 生 產(chǎn) 流 程 造 成 不 必 要 的 損 失 。 (確 保 合 格 的產(chǎn) 品 提 供 給 生 產(chǎn) 部 門

2、) 引 言 硅 片 來 料 檢 驗 主 要 項 目 ： 1.電 學 部 分 ： 厚 度 /電 阻 率 測 試 少 子 壽 命 測 試 引 言 2.光 學 部 分 ： 幾 何 尺 寸 垂 直 性 硅 片 破 裂 （ 包 括 崩 邊 、 裂 痕 、 V型 缺 口 ） 表 面 臟 污 空 洞 和 隱 裂 引 言 相 關 硅 片 實 例 ： 引 言 電 池 片 生 產(chǎn) 過 程 檢 驗 目 的 ： 防 止 過 程 中 出 現(xiàn) 批 次 性 問 題 ， 避 免 不 合 格 品 流 入下 道 工 序 。 保 證 電 池 片 生 產(chǎn) 工 藝 過 程 、 操 作 過 程均 滿 足 規(guī) 范 要 求 ， 保 證 生

3、產(chǎn) 的 穩(wěn) 定 性 及 規(guī) 范 性 ，保 證 產(chǎn) 品 效 率 及 成 品 率 。 引 言 電 池 片 生 產(chǎn) 主 要 過 程 介 紹 ： 引 言 電 池 片 生 產(chǎn) 過 程 檢 驗 主 要 相 關 設 備 ：引 言 主 要 分 為 以 下 幾 個 控 制 點 ：1.前 期 準 備 工 作 檢 查2.制 絨 清 洗 后 ；3.擴 散 后 ；4.等 離 子 刻 蝕 后 ；5.去 磷 硅 玻 璃 清 洗 后 ；6.PECVD后 ；7.絲 網(wǎng) 燒 結(jié) 后 ；8.電 池 片 性 能 測 試 分 檔 后 。電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 前 期 準 備 工 作 檢 查 ： 設 備 開 機 檢 查 ，

4、填 寫 巡 檢 記 錄 單 ； 工 藝 參 數(shù) 監(jiān) 控 ： 設 備 各 參 數(shù) 達 到 工 藝 要 求 后 進 行生 產(chǎn) 。 電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 各 工 序 關 鍵 工 藝 參 數(shù) ： 制 絨 清 洗 ： NaOH、 Na2O3、 HF、 HCL溶 液 濃 度 ，溶 液 溫 度 等 。 擴 散 ： 擴 散 溫 度 ， 氣 體 流 量 等 。 等 離 子 刻 蝕 ： 射 頻 功 率 ， 氣 體 流 量 等 。電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 去 磷 硅 玻 璃 ： HF溶 液 濃 度 等 。 PECVD： 氣 體 流 量 ， 微 波 源 功 率 ， 沉 積 壓 力 ， 工藝 溫

5、 度 等 。 絲 網(wǎng) 燒 結(jié) ： 印 刷 壓 力 ， 印 刷 速 度 ， 印 刷 網(wǎng) 板 間 距， 印 刷 方 式 ， 燒 結(jié) 各 加 熱 區(qū) 溫 度 等 。電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 制 絨 清 洗 后 ： 制 絨 后 硅 片 外 觀 ： 硅 片 表 面 制 絨 均 勻 ， 無 點 狀 亮點 硅 片 稱 重 ： 清 洗 前 后 重 量 差 在 0.6 0.7g電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 擴 散 后 ： 方 塊 電 阻 ： 測 量 范 圍 在 40 5/ 方 阻 均 勻 性 ： 均 勻 性 誤 差 不 大 于 5%電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 等 離 子 刻 蝕 后 ：

6、邊 緣 電 阻 測 量 ： 測 量 范 圍 在 30 10k 刻 蝕 痕 跡 （ 目 測 ） 電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 去 磷 硅 玻 璃 清 洗 后 ： 電 池 片 外 觀 ： 擴 散 面 無 明 顯 發(fā) 暗 擴 散 面 疏 水 性 （ 目 測 ）電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 PECVD后 ： 工 藝 后 外 觀 檢 測 ： 硅 片 鍍 膜 面 呈 均 勻 藍 色 （ 目 測） 氮 化 硅 膜 的 厚 度 、 反 射 率 、 折 射 率 片 內(nèi) 均 勻 性 、 片 間 均 勻 性 、 批 間 均 勻 性 ： 不 大 于 5% 電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 絲 網(wǎng) 燒 結(jié)

7、 后 ： 印 刷 重 量 ： 正 銀 為 0.10 g 0.02 g； 背 銀 為 0.12 g 0.02 g； 背 鋁 為 0.8 g 0.2 g； 電 池 片 外 觀 ： 滿 足 成 品 電 池 片 外 觀 分 選 標 準 要 求 。 電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 電 池 片 性 能 測 試 分 檔 后 ： 標 準 片 校 準 碎 片 記 錄 電 池 片 過 程 檢 驗 標 準 一 、 目 的 ： 防 止 制 程 中 出 現(xiàn) 批 次 性 問 題 ， 避 免 不 合 格 品 流 入 下 道 工 序 。二 、 范 圍 ： 適 用 于 產(chǎn) 品 生 產(chǎn) 過 程 有 關 的 工 序 。過 程

8、檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 三 、 職 責 ： 品 控 員 負 責 對 生 產(chǎn) 過 程 的 監(jiān) 控 ， 對 生 產(chǎn) 工 序 的 巡查 ， 將 遇 到 的 問 題 反 饋 給 PQC工 程 師 。 PQC工 程 師 負 責 品 控 員 監(jiān) 督 、 巡 檢 統(tǒng) 計 表 的 匯 總報 告 ， 以 及 協(xié) 調(diào) 生 產(chǎn) 部 ， 工 藝 部 和 設 備 部 解 決 相關 問 題 。 過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 四 、 工 作 內(nèi) 容 : 品 控 員 在 每 班 開 始 生 產(chǎn) 前 完 成 對 各 種 測 試 設 備 的校 準 工 作 ， 并 填 寫 測 試 設 備 校 準 記 錄 單 。 品 控

9、員 每 隔 一 小 時 檢 查 各 工 序 使 用 作 業(yè) 指 導 書 是 否 正 確 ， 操 作 員 是 否 按 照 要 求 進 行 操 作 ， 并填 寫 巡 檢 記 錄 單 。 如 發(fā) 現(xiàn) 問 題 需 立 即 告 知 帶班 班 長 及 PQC工 程 師 ， 不 允 許 擅 自 處 理 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 品 控 員 每 隔 一 小 時 檢 查 產(chǎn) 品 流 轉(zhuǎn) 情 況 ， 并 填 寫 巡 檢 記 錄 單 。 如 發(fā) 現(xiàn) 問 題 需 立 即 告 知 帶 班 班 長及 PQC工 程 師 ， 不 允 許 擅 自 處 理 。 品 控 員 每 隔 一 小 時 檢 查 各 工 序 使

10、用 的 設 備 和 工 裝是 否 符 合 作 業(yè) 指 導 書 和 設 備 操 作 規(guī) 程 ，并 填 寫 巡 檢 記 錄 單 。 如 發(fā) 現(xiàn) 問 題 需 立 即 告 知帶 班 班 長 及 PQC工 程 師 ， 不 允 許 擅 自 處 理 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 生 產(chǎn) 過 程 中 有 狀 態(tài) 變 更 （ 包 括 工 藝 、 設 備 和 操 作人 員 等 ） 后 ， 品 控 員 需 對 調(diào) 整 后 的 前 3批 產(chǎn) 品 質(zhì) 量進 行 跟 蹤 ， 并 填 寫 巡 檢 記 錄 單 。 對 于 生 產(chǎn) 過 程 中 不 合 格 的 原 材 料 的 處 理 ， 要 填 寫 原 材 料 異 常

11、反 饋 單 ， 對 不 合 格 原 材 料 的 使 用情 況 進 行 處 理 并 向 技 術 質(zhì) 量 部 主 管 反 饋 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 品 控 員 若 發(fā) 現(xiàn) 制 造 產(chǎn) 品 過 程 略 有 偏 離 正 常 狀 態(tài) ，尚 未 造 成 質(zhì) 量 問 題 時 ， 應 立 即 口 頭 通 知 生 產(chǎn) 部 帶班 班 長 和 PQC工 程 師 ， 必 要 時 通 知 生 產(chǎn) 部 門 經(jīng) 理進 行 改 善 ， 并 跟 蹤 改 善 結(jié) 果 ， 若 三 次 改 善 無 效 ，則 填 寫 質(zhì) 量 信 息 反 饋 單 經(jīng) 技 術 質(zhì) 量 部 及 相 關部 門 確 認 后 ， 按 確 認 結(jié)

12、果 進 行 處 理 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 對 于 現(xiàn) 場 中 出 現(xiàn) 的 質(zhì) 量 問 題 ， 品 控 員 立 即 告 知PQC工 程 師 及 帶 班 班 長 ， 帶 班 班 長 要 立 即 停 產(chǎn)。 QC與 生 產(chǎn) 、 工 藝 人 員 （ 必 要 時 請 研 發(fā) 人 員 協(xié)助 ） 共 同 對 事 故 原 因 進 行 分 析 ， 要 立 即 發(fā) 放 糾正 與 預 防 措 施 單 ， 找 出 發(fā) 生 質(zhì) 量 問 題 的 真 正 原因 ， 制 定 糾 正 預 防 措 施 。 并 同 時 用 電 話 或 郵 件 通知 技 術 質(zhì) 量 部 主 管 和 生 產(chǎn) 部 主 管 。 發(fā) 現(xiàn) 重

13、大 異 常立 即 向 技 術 質(zhì) 量 部 經(jīng) 理 和 制 造 部 經(jīng) 理 報 告 。 確 認是 否 造 成 質(zhì) 量 事 故 ， 如 造 成 質(zhì) 量 事 故 ， 根 據(jù) 質(zhì)量 事 故 的 管 理 規(guī) 定 執(zhí) 行 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 品 控 員 每 隔 一 小 時 需 對 各 生 產(chǎn) 工 序 的 成 品 監(jiān) 控 點進 行 抽 檢 ， 并 填 寫 相 關 巡 檢 記 錄 單 。過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 生 產(chǎn) 各 工 序 員 工 負 責 對 制 絨 、 擴 散 、 刻 蝕 、 去PSG、 PECVD、 絲 網(wǎng) 印 刷 、 燒 結(jié) 、 電 性 能 測 試 等工 藝 后 的 碎 片 進 行 分 揀 、 收 集 、 記 錄 。 成 品 終 檢 員 負 責 對 外 觀 分 揀 后 的 碎 片 進 行 分 揀 、收 集 、 記 錄 。 過 程 檢 驗 作 業(yè) 指 導 書 謝謝大家！