硅片堿液清洗機(jī)技術(shù)方案

上傳人:澤*** 文檔編號(hào):73418190 上傳時(shí)間:2022-04-11 格式:DOC 頁(yè)數(shù):8 大?。?43.50KB
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1、硅片堿液清洗設(shè)備技術(shù)方案書(shū)編制審核原料加工部:綜合計(jì)劃部:安環(huán)部:會(huì)簽質(zhì)量檢驗(yàn)部:人事行政部:財(cái)務(wù)部:批準(zhǔn)日期年月日呼和浩特市歐通能源科技有限公司目錄一、系統(tǒng)要求:3二、清洗原理3三、設(shè)備結(jié)構(gòu)組成3四、流程總述4五、清洗工藝流程4六、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)51、熱水壓力噴淋清洗工位52、堿液刷洗工位53、壓力噴淋漂洗工位54、吸水輥吸水工位65、風(fēng)刀切液工位6七、系統(tǒng)描述61、上、下料裝置62、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位63、堿液刷洗工位74、吸水輥吸水工位75、風(fēng)刀切液工位7八、安全防護(hù)7九、清潔要求7十、整機(jī)參數(shù):7十一、設(shè)備配送技術(shù)資料:7十二、售后服務(wù):8一、系統(tǒng)要求:a) 清洗

2、對(duì)象:硅片;b) 線速度: 0-4 米 / 分;c) 清洗介質(zhì):自來(lái)水、堿性硅片清洗劑;d) 產(chǎn)量: 2 噸/8 小時(shí)二、清洗原理采用托輥雙動(dòng)力輸送,上壓輥利用機(jī)械高速輥刷法加堿性清洗劑將硅片上下表面的油墨及雜質(zhì)去除,然后利用高壓水噴洗硅片表面,將硅片表面殘留的雜質(zhì)及堿性清洗劑沖洗干凈。三、設(shè)備結(jié)構(gòu)組成該設(shè)備至少由上料工位、熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位、吸水輥吸水工位、風(fēng)刀切液工位、下料工位、加熱溫控系統(tǒng)、托輥輸送系統(tǒng)、壓輥定位系統(tǒng)、儲(chǔ)液槽、無(wú)紡布過(guò)濾系統(tǒng)、機(jī)體框架及電氣控制系統(tǒng)等組成。示意圖如下:四、流程總述首先人工將硅片擺在上料工位,由托輥輸送系統(tǒng)將硅片輸送至設(shè)備內(nèi)

3、部,在托輥和定位輥的輸送下依次進(jìn)入熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位,硅片漂洗完成后通過(guò)吸水輥工位將硅片表面大部分的水分吸走,然后由托輥輸入風(fēng)刀切液工位,風(fēng)刀切液工位將硅片表面殘留的水氣吹干,最后由托輥輸送至下料工位的滑板上,硅片自動(dòng)掉入下一工序的上料位。至此完成一個(gè)完整的清洗烘干流程。五、清洗工藝流程上料工位熱水壓力噴淋清洗工位堿液刷洗工位壓力噴淋漂洗工位吸水輥吸水工位風(fēng)刀切液工位下料工位序號(hào)工序有效尺寸約清洗方式溫度控制清洗介質(zhì)傳送方式1上料工位L500W600mm-人工上料2熱水壓力噴L420W600mm 高壓噴淋40-50 自來(lái)水托輥傳輸淋清洗工位3堿液刷洗工L140

4、0毛刷刷洗40-50 市水 +堿性托輥傳輸位W600mm清洗劑4壓力噴淋漂L420W600mm 高壓噴淋常溫市水托輥傳輸洗工位5吸水輥吸水-托輥傳輸L350W600mm工位6風(fēng)刀切液工-托輥傳輸L500W600mm位7下料工位L200W600mm-滑板下料六、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)1、熱水壓力噴淋清洗工位有效尺寸約 L420mm W600mm;材質(zhì)采用非金屬材料,如 PVC材質(zhì),厚度 10mm;上下各設(shè)三道噴淋裝置;結(jié)構(gòu)形式配儲(chǔ)液槽一個(gè),噴淋泵一臺(tái),噴淋泵功率1.5KW,儲(chǔ)液槽上方配無(wú)紡布用于攔截雜質(zhì);工件通過(guò)的上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng);溫度控制儲(chǔ)液槽內(nèi)置加熱管,加熱功率約6KW,加熱溫度約 50左右;儲(chǔ)

5、液槽中的市水由循環(huán)泵分別注入三道噴淋裝置,噴淋后的水溶液經(jīng)液體流向過(guò)無(wú)紡布過(guò)濾后流回儲(chǔ)液槽;2、堿液刷洗工位有效尺寸約 L1400mmW600mm;材質(zhì)槽體采用非金屬材料,如PVC材質(zhì),厚度 10mm;設(shè)上下兩道刷洗裝置,共4 組刷輥,每組刷輥電機(jī)功率 1.5KW;結(jié)構(gòu)形式配儲(chǔ)液槽一個(gè),循環(huán)泵一臺(tái),循環(huán)泵功率 1.5KW,儲(chǔ)液槽上方配無(wú)紡布用于攔截雜質(zhì);工件通過(guò)上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng);溫度控制儲(chǔ)液槽內(nèi)設(shè)加熱管,加熱功率約 6KW,加熱溫度 40-50 ;儲(chǔ)液槽中的清洗液經(jīng)循環(huán)泵抽取進(jìn)入堿液刷洗工位,堿液刷洗工位中的液液體流向體經(jīng)無(wú)紡布過(guò)濾后流回儲(chǔ)液槽;3、壓力噴淋漂洗工位有效尺寸約 L420mm

6、W600mm;材質(zhì)采用非金屬材料,如PVC材質(zhì),厚度 10mm;上下各設(shè)三道噴淋裝置;配儲(chǔ)液槽一個(gè),噴淋泵一臺(tái),噴淋泵功率1.5KW,儲(chǔ)液槽上方配無(wú)紡布用于結(jié)構(gòu)形式攔截雜質(zhì);工件通過(guò)的上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng);自來(lái)水直接注入第三道噴淋裝置,經(jīng)第三道噴淋后的水溶液經(jīng)無(wú)紡布過(guò)濾后直接流進(jìn)儲(chǔ)液槽,儲(chǔ)液槽中的水溶液由循環(huán)泵抽取后分別注入第一道和第二液體流向道噴淋裝置,第一道和第二道噴淋后的水溶液由無(wú)紡布過(guò)濾后流回儲(chǔ)液槽;儲(chǔ)液槽中多余的水溶液通過(guò)溢流口直接排進(jìn)廢液管道。4、吸水輥吸水工位有效尺寸約 L350W600mm;材質(zhì)采用非金屬材料,如PVC材質(zhì),厚度 10mm;結(jié)構(gòu)形式共設(shè)三道吸水輥;5、風(fēng)刀切液工位

7、有效尺寸約 L500W600mm;材質(zhì)采用非金屬材料,如PVC材質(zhì),厚度 10mm;封閉風(fēng)刀室,高壓風(fēng)刀切液工位,上下風(fēng)刀吹水,槽內(nèi)設(shè)導(dǎo)風(fēng)板,底部設(shè)集結(jié)構(gòu)形式水盤(pán),收集切下的清洗液;風(fēng)機(jī)配風(fēng)機(jī) 1 臺(tái),風(fēng)機(jī)功率 4KW;七、系統(tǒng)描述1、上、下料裝置上料和下料均采用雙動(dòng)力傳輸輥,傳動(dòng)電機(jī)功率0.75KW。下料端設(shè)計(jì)為帶有一定坡度的滑板,以保證硅片能夠自動(dòng)滑落至下一工序。2、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位熱水壓力噴淋清洗工位和壓力噴淋漂洗工位均設(shè)上下三道噴淋系統(tǒng),噴淋清洗和漂洗過(guò)程中硅片上部均設(shè)有壓輥定位系統(tǒng),防止硅片漂浮。噴淋清洗時(shí)儲(chǔ)液槽中設(shè)有加熱管,采用溫水噴淋有利于硅片表面的清洗。另

8、外噴淋后的液體進(jìn)入儲(chǔ)液槽之前設(shè)有無(wú)紡布,能夠有效將工件表面的雜質(zhì)碎屑攔截,液體重復(fù)利用率有效提高。3、堿液刷洗工位堿液刷洗工位設(shè)上下兩道刷輥,刷洗硅片上方時(shí)硅片下部設(shè)有托輥輸送系統(tǒng),刷洗硅片下方時(shí)硅片上部設(shè)有壓輥定位系統(tǒng),防止硅片漂浮。儲(chǔ)液槽內(nèi)設(shè)有加熱管,采用溫水加堿性清洗劑進(jìn)行清洗,使硅片表面的油墨及雜質(zhì)能夠快速高效的去除。4、吸水輥吸水工位設(shè)三道吸水輥,該工位能夠?qū)⒐杵砻娲蟛糠值乃治摺?、風(fēng)刀切液工位吸水輥將漂洗完成后的硅片表面大部分的水分吸走后,硅片進(jìn)入該工序,高壓風(fēng)通過(guò)風(fēng)機(jī)從風(fēng)刀吹出,將硅片表面殘留的水份吹干。八、安全防護(hù)該設(shè)備所有轉(zhuǎn)動(dòng)部位、有壓力意外釋放部位、容易引發(fā)高溫燙傷部

9、位等,均應(yīng)進(jìn)行應(yīng)有的防護(hù),以及設(shè)置緊急停機(jī)裝置。九、清潔要求該設(shè)備所涉及的水槽、滾刷等,均應(yīng)做到便于拆卸清潔,以及清潔后各部件便于組裝恢復(fù)。十、整機(jī)參數(shù):1、 設(shè)備外形尺寸約: L4500*W1000*H1180mm2、 動(dòng)力總功率約: 15.25KW3、 加熱總功率約: 12KW4、 電源: 380VAC/50Hz (三相四線地線)十一、設(shè)備配送技術(shù)資料:1、操作使用說(shuō)明書(shū)(含安裝、操作及維修)叁份;2、產(chǎn)品合格證明書(shū)(含產(chǎn)品合格證及保修卡)叁份。十二、售后服務(wù):1、設(shè)備制作方向現(xiàn)場(chǎng)施工人員提供所需的所有細(xì)節(jié),以便準(zhǔn)備現(xiàn)場(chǎng)安裝。2、設(shè)備制作方應(yīng)到用戶(hù)工廠現(xiàn)場(chǎng)安裝設(shè)備。3、設(shè)備安裝期間,設(shè)備制作方為用戶(hù)設(shè)備操作人員提供設(shè)備的操作、維護(hù)保養(yǎng)、緊急事故處理等技術(shù)培訓(xùn)。4、設(shè)備交付使用后設(shè)備制作方無(wú)償為用戶(hù)提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù),無(wú)償為用戶(hù)提供非人為而損壞的設(shè)備零件。一年后設(shè)備制作方為用戶(hù)提供終身技術(shù)服務(wù)。

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