POL不良分析Logic TreePPT課件

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1、2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point偏光板 Centering部移送Roller吸入Braket環(huán)境(上部,下部)移栽機Panel位置決定Panel上板翻轉部INDEX部偏光板 剝離部排氣部Hepa Filter上下板附著部設備數(shù)量接觸面清掃狀態(tài)流速流量和Panel的間隔Particle清掃狀態(tài)Pad部 異物和Panel接觸面Air Gun 位置 流量 流速反送Table 清掃狀態(tài)Air Gun 位置 流量 流速下部異物聚層Air Hose 漏斜Cutting部異物去除剝離后露出時間容量位置流量流速 壽命位置Roller數(shù)調(diào)整 接觸點減少周期清掃流速增大流

2、量增大最佳條件實現(xiàn)流入途徑追擊 周期清掃周期清掃接觸方式 變更Panel挨近方式變更流速增大流量增大周期確認及清掃Panel挨近方式變更流速增大流量增大下部清掃周期設定 磨損周期了解后事先交換入庫檢查強化 異物流入抑制 容量點檢按氣流的流動位置移動性能點檢性能點檢交換周期設定效果驗證線頭不良原因分析線頭不良原因分析 Logic Tree附錄附錄線頭線頭2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point偏光板 資材不良C/R和 一般 Zone的泄露因排氣壓下部異物流入排氣Duct Line的 位子選定Air Knife Setting條件Air Knife不的腐蝕1,2次

3、 Filter技能低1,2次 Hose的污染POL Cutting BurrPOL 表面Burr黏著劑成分 砷酸包裝材材質,交換周期磨損差異發(fā)生斷面 磨損發(fā)生Wiper磨損 經(jīng)常M/C 實施沒帶外手套M/C后 清掃方法清掃部位問題發(fā)生 根本原因 改善措施時間長期化 設備開放時 PM狀態(tài)作業(yè)工具類 異物聚層PM 品質意識未具備交換次數(shù) 作業(yè)環(huán)境 污染M/CDOWN,Error措施資材交換清凈度空管空間上部排氣方式側面排氣方式管理Point化 未設定按周期點檢不足交換周期未設定交換周期未設定Maker制造 不良Maker制造 不良黏著劑 選定管理不足材質變更,周期設定防塵服 部分磨損磨損防塵服交換

4、Wiper材質 變更設備對應力不足手表面 附著異物去除 基準設定不足基準設定不足基準設定不足問題發(fā)生 原因改善設備開放Air Shower后 設備措施工具類 附著異物 去除 品質 改善意識 自覺設備投入量 少量POL工程 清凈度 上升漏泄部Sealing排氣位置變更排氣位置變更最佳Setting條件 設定設備狀態(tài)管理交換周期設定交換周期設定入庫檢查強化入庫檢查強化 黏著材質 改善管理規(guī)定設定材質改善,交換實施帶保護口防塵服月間管理超細纖維Wiper 適用設備對應力上升M/C前洗手義務化管理規(guī)定設定管理規(guī)定設定管理規(guī)定設定設備別,項目別 改善發(fā)生防止及早日對應Air Shower義務化 實施周期

5、清掃 異物Loss OP,PM教育設備對應力增大 塑料Curtain 適用材料方法線頭線頭 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree附附 錄錄Air Knife部 污染線頭線頭環(huán)境防塵服,內(nèi)手套WIPER品質意識2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point沒有去除Chip刀刃斷面狀態(tài)不良刀刃磨損刀刃角度 Setting刀刃回轉數(shù)刀刃的使用次數(shù)去除時間去除力的差異刀刃結團偏移異物的大小受臺部平衡度死角地帶 封口異物的黏性空旋轉時去出異物不足洗凈Mechanism的 不合理Brush Roller的 再流入Sponge Roller的 再流入移送Roller

6、 通過時 固定用翻轉機 再附著用受臺吸著 在附著洗凈力低 Panel表面 附著Brush 死角地帶Brush 磨損程度Brush去出力接觸點的多大Roller數(shù)的過大 去除Chip之后 殘留干燥部 移送RollerMaker 制造不良材質選擇的適當性因加工空差的偏移去出速度的適當性磨損速度的不明確不合理的 Tact減少旋轉MomentShaft,Gear 偏移Scribing工程上問題初期Setting Miss旋轉MomentProgram Teaching去除力比黏性大Air 噴射速度及方向S/R,B/R的位置選定Roller 使用周期Roller 使用周期Panel方向的力作用Panel

7、方向的力作用垂直方向的力作用自然水,純水水量自然水,純水水壓自然水,純水噴射構造表面漲力作用直徑選擇的合理性材質選擇的合理性旋轉速度低Panel的穩(wěn)定性Panel的穩(wěn)定性設備入庫檢查 強化刀刃 材質改善JIG狀態(tài)管理最佳速度適用制定交換基準Line Balance去除力的均勻設備狀態(tài)管理P1,P2 工程改善設備狀態(tài)管理Floating構造變更Teaching值調(diào)整UV工程改善噴射構造 改善Mechanism對應交換周期設定交換周期設定上部移送Roller去除Chip去除后 Air噴射受臺形象變更水量增大 水壓增大 噴射構造改善界面潤滑劑改善周密度增大材質變更速度增大接觸點縮小Roller數(shù)調(diào)整

8、玻璃粉玻璃粉,封口封口 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree玻璃粉玻璃粉封口異物封口異物Brush Roller效果不足 2021/3/25授課：XXX移動中發(fā)生CST內(nèi)部異物因振動 異物上板Pad部 Chip殘存P2 Panel Chip多量Scribing 狀態(tài)不良Grinding 狀態(tài)不良封口異物流入P1 Chip去除效果 不足刀刃旋轉空差過大去除Head軸的偏心工程軸的偏移 Bearing破損 按人有調(diào)整差異去除Head 垂直度變化受臺平衡度變化Panel外圍不能去除Head 高度調(diào)整難刀刃結團構造不合理CST 未洗凈使用Panel和 CST之間沖突不能去除ChipP2

9、Chip去除無Scribing 工程Grinding工程封口工程刀刃Setting空轉/自轉Gear構成初期Setting 旋轉Center 掉因沖擊變形Collar空差沒有Point旋轉Center脫露初期Setting旋轉Moment材料Panel 不良方法按OP有Setting差異 人CST內(nèi)部清掃Panel緩沖構造適用Chip去除 Flow變更P2 工程改善P1,P2 工程改善P1,P2 工程改善P1,P2 工程改善P1 工程改善動力傳達構造 變更Setting調(diào)整低垂補充 新制造,交換T加工空差管理管理PointJIG狀態(tài)管理設備狀態(tài)管理Floating構造變更玻璃粉玻璃粉,封口封口

10、 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree玻璃粉玻璃粉封口異物封口異物問題點1次原因2次原因3次原因改善Point2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point洗凈工程為什么發(fā)生 異物？沒有去除完Chip刀刃狀態(tài)不良刀刃刀刃角度 Setting刀刃旋轉數(shù)刀刃的使用次數(shù)去除時間去除力的 差異刀刃結團偏移異物的大小受臺部 平衡度死角地帶封口異物的 黏性空旋轉時 異物去除不足洗凈Mechanism的不合理Brush Roller的 再流入Sponge Roller的 再流入移送Roller 通過時 固定因翻轉機 再固定Brush死角地帶Brush 磨損程度Bru

11、sh去除力C/R和 一般 Zone的 漏泄因排氣壓 下部異物流入Duct Line的 位置選定Air Knife Setting條件Air Knife部的 腐蝕1,2次 Filter功能低1,2次 Hose的 污染接觸點的 過大Roller數(shù)的 過大 Chip去除后 殘流Brush Roller效果不足 Air Knife部 污染干燥部 移送RollerMaker 制造不良材質選擇的適當性因加工空差的偏移去除速度的適當性磨損速度的不明確不合理的 Tact減少旋轉MomentShaft,Gear 偏移Scribing工程上問題初期Setting Miss旋轉Moment去除力比黏性大Air 噴射

12、速度 及 方向S/R,B/R 的位置選定Roller 構造問題Roller 構造問題Panel方向的 力作用Panel方向的 力作用直徑選擇的 適當性材質選擇的適當性旋轉速度低不管及空間上部 排氣方式側面排氣方式管理Point化 未設定周期 點檢不足交換周期 未設定交換周期 未設定Panel的 穩(wěn)定性Panel的 穩(wěn)定性設備入庫檢查強化刀刃 材質 改善JIG狀態(tài)管理最佳 速度 適用制定交換基準Line Balance去除力的均勻設備狀態(tài)管理P1,P2 工程改善設備狀態(tài)管理Floating構造變更UV工程改善噴射構造改善Mechanism對應構造變更構造變更上部移送Roller 去除Chip去除

13、后 Air噴射周密度 增大材質變更速度增大漏泄部Sealing排氣位置變更排氣位置變更最佳Setting條件設定設備狀態(tài)管理設定交換周期設定交換周期接觸點縮小Roller數(shù) 調(diào)整異物異物 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree ( (洗凈工程洗凈工程) )2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point洗凈工程為什么發(fā)生 異物？移動中 異物發(fā)生CST內(nèi)部異物因震動 異物上板Pad部 Chip殘存P2 Panel Chip多Grinding 狀態(tài)不良封口異物流入P1 Chip去除效果不足刀刃的旋轉空差大Gear間隔去除Head軸的偏心按人的調(diào)整差異去除Hea

14、d 垂直度變化受臺的平衡度變化Panel外圍去除不可Head高度 調(diào)整難刀刃結團構造不合理CST不洗凈Panel和 CST之間的沖突Chip不可去除P2 Chip去除 無Grinding工程封口工程刀刃Setting / Gear構成初期Setting 旋轉Center脫露沒有另外調(diào)整Point旋轉Center脫露初期Setting旋轉Moment材料Panel 本身不良方法按OP有 Setting差異 人CST內(nèi)部清掃Panel緩沖構造適用Chip去除 Flow變更P2 工程改善P1,P2 工程改善P11,P2 工程改善P1 工程改善動力傳達構造變更Setting調(diào)整低垂補充 管理Point

15、JIG狀態(tài)管理設備狀態(tài)管理Floating構造變更異物異物 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree ( (洗凈工程洗凈工程) )2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善PointPOL工程異物為什么發(fā)生？偏光板 Centering部移送Roller吸著Braket環(huán)境(上部,下部)移栽機Panel位置決定Panel上板泛轉部翻轉部INDEX部偏光板排氣部Hepa Filter上下板 附著部設備數(shù)接觸面清掃狀態(tài)流速流量和Panel的 間隔Particle清掃狀態(tài)Pad部 異物和Panel 接觸面Air Gun 位置 流量 流速反送Table 清掃狀態(tài)Air G

16、un 位置 流量 流速下部環(huán)境Particle旋轉(速度)Cutting部 異物去除剝離后露出時間容量位置流量流速壽命位置Roller數(shù) 調(diào)整接觸面 縮小周期清掃流速增大流量增大最佳條件 實現(xiàn)流入途徑 追擊 周期清掃 周期清掃接觸方式變更Panel挨近方式變更流量增大流速增大周期確認及清掃Panel挨近方式變更流量增大流量增大流入途徑追擊維持適當速度抑制渦流發(fā)生入庫檢查強化 抑制異物流入 容量點檢按氣流的流動位子移動性能點檢性能點檢交換周期設定效果驗證異物異物 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree (POL (POL工程工程) )2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原

17、因3次原因改善PointPOL工程異物為什么發(fā)生？偏光板 不良POL Cutting BurrPOL 表面Burr黏著劑成分不均包裝材殘存Chip殘存封口異物擠層M/C后 清掃方法空旋轉時間清掃部位措施時間 長期化 交換次數(shù) 磨損發(fā)生移動Panel不良M/C瞬間Error資材交換防塵服清掃(Particle)Maker制造不良Maker制造不良黏著劑選定管理不足洗凈工程問題洗凈工程問題Air Gun效果基準設定不足基準設定不足基準設定不足 設備開放設備開放交換周期不足入庫檢查強化入庫檢查強化 黏著材質改善管理規(guī)定設定Mechanism對應Mechanism對應Air Gun位置調(diào)整M/C補加項

18、目 管理規(guī)定設定管理規(guī)定設定發(fā)生防止及 早日對應資材容量 增大交換周期 設定C/R徹底管理限制不必要的行動材料方法環(huán)境異物異物 不良不良 原因原因 分析分析 Logic Tree (POL (POL工程工程) )2021/3/25授課：XXX問題點1次原因2次原因3次原因改善Point接觸部Panel取出洗凈Centering受臺表面Roller表面Air Knife干涉吸著BKT干涉平面度 X,Y平衡度Floating不良空轉平衡度Gear旋轉空差 Shaft進展度 刀刃傾斜刀刃去除角度P1,P2流出CST移動Rounding,突出刀刃斷面狀態(tài)交換周期平衡度Floating狀態(tài)RPM增大壓入

19、量下降速度 左右偏差 IPA,純水 混入比 是否噴射IPA是否洗滌液 受臺去除HeadPanel異物殘存 及 Burr異物殘存 及 Burr異物殘存 及Burr異物殘存 及 BurrSetting 條件 Setting 條件加工SPEC Over取部SPEC Over 傾斜方向累計空差 Gear加工誤差外部沖擊圓心差異垂直力差異 Panel工程不良振動沖擊手動操作后適用Maker制造不良磨損速度的不明確Setting MissHolder組立Miss 垂直,水平力 增大垂直力的 增大瞬間沖擊刀刃的偏心噴射液 蒸發(fā)速度磨檫力的增大 刀刃磨檫力減少 實施周期點檢 “ “ “ Setting條件再設定 “ 入庫檢查強化 實施周檢點檢Floating方式改善X,Y調(diào)整Point 改善 “設備狀態(tài)管理 刀刃位置變更30”去除方式適用Panel流出不良管理BOX內(nèi)部 緩沖方式 側面部 全數(shù)入庫檢查 交換基準設定設備狀態(tài)管理1Kgf以內(nèi)管理1200rpm 以內(nèi)適用0.15mm以內(nèi)管理設備基準設定0.1mm以內(nèi) Setting最佳混合比設定未噴射時 Alarm 適用最佳物性值 適用PanelScratch設備材料刀刃刀刃方法噴射液Scratch 不良原因分析不良原因分析 Logic Tree2021/3/2510Thank you!