擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)【獨(dú)家畢業(yè)課程設(shè)計(jì)帶任務(wù)書+開題報告+外文翻譯】
擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)【獨(dú)家畢業(yè)課程設(shè)計(jì)帶任務(wù)書+開題報告+外文翻譯】,擴(kuò)散,分散,散布,智能,控制系統(tǒng),設(shè)計(jì),獨(dú)家,畢業(yè),課程設(shè)計(jì),任務(wù)書,開題,報告,講演,呈文,外文,翻譯
- 1 - 1.畢業(yè)設(shè)計(jì)的主要內(nèi)容、重點(diǎn)和難點(diǎn)等 主要內(nèi)容 : 以 核心 ,設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)對擴(kuò)散爐溫度和工藝過程的檢測與控制。擴(kuò)散爐有上、中、下3 區(qū)爐絲加熱和壓力控制加壓 ,3 區(qū)溫度分別由相應(yīng)位置上的熱電偶測出 ,壓力由壓力傳感器測量 ,該控制系統(tǒng)主要功能就是實(shí)現(xiàn)對溫度的控制 ,并使其按照設(shè)定工藝曲線自動運(yùn)行。同時提供友好的人機(jī)界面 ,實(shí)時顯示溫度、壓力值和報警信息 ,方便工藝設(shè)定、系統(tǒng)調(diào)試等操作 設(shè)計(jì)重點(diǎn): ( 1)對擴(kuò)散爐中的多個工位的溫度測點(diǎn)分別進(jìn)行檢測、顯示、控制; ( 2)溫度控制精度在全量程范圍內(nèi) ,檢測分辨率≤± 0. 2 ℃ ,控制精度≤± 1 ℃; ( 3)儲存多條溫度工藝曲線,可由 1~ 20 段直線組成 ,每段直線可設(shè)定時間 :1~ 9 999 ( 4)具有斷電參數(shù)保護(hù)功能; ( 5) 具有較強(qiáng)的抗干擾能力并可適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場的工作要求; ( 6) 控制方式為自適應(yīng)控制方式; ( 7) 工作方式為自動、手動。 設(shè)計(jì)難點(diǎn): ( 1) 使用應(yīng)用 模擬量檢測與控制能力以實(shí)現(xiàn)對被控過程的溫度監(jiān)測和控制; ( 2) 如何設(shè)計(jì)模擬硬件電路使其比較精確的進(jìn)行溫度采集; ( 3) 使用何種算法滿足精度要求; ( 4) 如何設(shè)計(jì)觸摸屏操作界面使其進(jìn)行友好互動。 - 2 - 2.準(zhǔn)備情況( 查閱過的文獻(xiàn)資料及調(diào)研情況、現(xiàn)有設(shè)備、實(shí)驗(yàn)條件等) 研究概況及發(fā)展趨勢: 進(jìn)入 21 世紀(jì),電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高速發(fā)展激勵和帶動了集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,這就為微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了空前廣闊的發(fā)展空間,也為半導(dǎo)體專用設(shè)備提供了巨大的市場潛力。 擴(kuò)散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。其主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜,即將元素磷、硼擴(kuò)散入硅片,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,以便建立起不同的電特性區(qū)域。雖然某些工藝可以使用 離子注入的方法進(jìn)行摻雜,但是熱擴(kuò)散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。硅的熱氧化作用是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應(yīng),生長一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氫氧合成)兩種,擴(kuò)散爐是用這兩種氧化方法制備氧化層的必備設(shè)備。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體集成電路工藝的基礎(chǔ)設(shè)備,它與半導(dǎo)體工藝互相依存、互相促進(jìn)、共同發(fā)展。 查閱過的文獻(xiàn)資料: [1] 王衛(wèi)兵編著 . 統(tǒng)通信、擴(kuò)展與網(wǎng)絡(luò)互連技術(shù) [M]械工業(yè)出版社, 2005 [2] 滕福生編著 M]川大學(xué)出版 社,2004 [3] 熊信銀,張步涵主編 M]中科技大學(xué)出版社, 2003 [4] 胡文金 M]慶大學(xué)出版社, 2003 [5] 劉玉英主編 C++[M]民郵電出版社, 2006 [6] 中國電子學(xué)會 001 傳感器與執(zhí)行器大全 2001 [7] 羅鈺玲主編 M]民郵電出版社, 2005 [8] 文峰,陳青 中國電力出版社, 2008 [9] 韓富春編著 化技術(shù) [M]國水利水電出版社, 2003 [10] 向曉漢等 級應(yīng)用實(shí)例精講 [M]械工業(yè)出版社, 2010 [11] 組態(tài)王 北京亞控, 2006 實(shí)驗(yàn)、測試需要用到的現(xiàn)有設(shè)備: 計(jì)算機(jī)一臺、 塊、 S 型鉑銠熱電偶 傳感器 - 3 - 3、實(shí)施方案、進(jìn)度實(shí)施計(jì)劃及預(yù)期提交的畢業(yè)設(shè)計(jì)資料 基于 擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)主要由系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)、以及硬件和軟件部分的詳細(xì)設(shè)計(jì)組成。該系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)主要由信號采集與預(yù)處理系統(tǒng)、開關(guān)量輸入 /輸出電路組成;開發(fā)擴(kuò)散 爐智能控制系統(tǒng)的人機(jī)界面,分為監(jiān)控程序和保護(hù)功能程序兩大類,分別實(shí)現(xiàn)調(diào)試與整定、自檢與監(jiān)控、各種保護(hù)功能以及顯示、等其他功能。 進(jìn)度安排計(jì)劃如下: 2015 2016受《畢業(yè)設(shè)計(jì) (論文 )任務(wù)書》,查閱相關(guān)的文獻(xiàn)資料,篩選并整理符合要求的材料加以學(xué)習(xí),撰寫《畢業(yè)設(shè)計(jì) (論文 )開題報告》; 2016 2016續(xù)搜集涉及的資料,設(shè)計(jì)出所選課題的總體方案,包括系統(tǒng)的硬件和軟件部分,編寫摘要和引言部分;并完成專業(yè)相關(guān)外文翻譯一篇; 2016 2016據(jù)提出的總體方案,撰寫擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)的總體方案、基本原理、整體結(jié)構(gòu)等內(nèi)容; 2016 2016成硬件部分的框架和大部分內(nèi)容; 2016 2016成硬件部分的余下內(nèi)容,制作硬件模擬電路; 2016 2016成軟件部分的框架設(shè)計(jì)和基本框架程序編寫; 2016 2016成軟件部分余下內(nèi)容,編寫相應(yīng)保護(hù)模塊程序; 2016 2016硬件測試,根據(jù)測試仿真結(jié)果調(diào)試硬件和軟件; 2016 2016習(xí)并編寫人機(jī)界面,進(jìn)行硬軟件的整合和仿真; 2016 2016寫設(shè)計(jì)(論文 )總結(jié),形成論文初稿,交指導(dǎo)教師審閱,對設(shè)計(jì)作品和論文進(jìn)行修改和整理,準(zhǔn)備參加小組驗(yàn)收和答辯。 預(yù)期提交的畢業(yè)設(shè)計(jì)資料: 1、二萬字左右的畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書(論文);在畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書(論文)中包括詳細(xì)的 300單詞的英文摘要; 2、與課題相關(guān),不少于四萬字符的指定英文資料翻譯( 附英文原文)一篇; 3、畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書(論文)中包括詳細(xì)的整定計(jì)算分析和系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)、原理圖、程序框圖和電路圖。 4、模擬硬件電路。 5、監(jiān)控調(diào)試運(yùn)行軟件。 - 4 - 指導(dǎo)教師意見 指導(dǎo)教師(簽字): 2015 年 12 月 28 日 開題小組意見 開題小組組長(簽字): 2016 年 月 日 院(系、部)意見 主管院長(系、部主任)簽字: 2016 年 月 日
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編號:115977
類型:共享資源
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上傳時間:2017-07-30
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擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)【獨(dú)家畢業(yè)課程設(shè)計(jì)帶任務(wù)書+開題報告+外文翻譯】,擴(kuò)散,分散,散布,智能,控制系統(tǒng),設(shè)計(jì),獨(dú)家,畢業(yè),課程設(shè)計(jì),任務(wù)書,開題,報告,講演,呈文,外文,翻譯
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